干式真空泵的應(yīng)用非常廣泛，主要有以下幾個(gè)方面，下面小編帶你了解一下干式真空泵的應(yīng)用范圍和場(chǎng)景：

1）多晶硅制備過(guò)程中的低壓化學(xué)氣相沉積;

2）半導(dǎo)體蝕刻工藝。 在這些制造過(guò)程中經(jīng)常使用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨粒;

3）除半導(dǎo)體工藝外，部分工藝過(guò)程產(chǎn)生的顆粒，不希望顆粒與泵油混合，希望顆粒從泵內(nèi)排出，用一定類型的干式機(jī)械真空泵達(dá)到要求;

4）在化學(xué)工業(yè)，醫(yī)藥工業(yè)，食品工業(yè)的蒸餾，干燥，消泡，包裝，防止有機(jī)溶劑引起的污染，適合與干式真空泵配套使用;

5）用作普通無(wú)油清洗真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，防止油污染。

干式真空泵主要有以下幾種形式：

雙圓片

雙盤設(shè)計(jì)與當(dāng)今最流行和廣泛使用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上，一些最早的干泵設(shè)計(jì)是羅茨泵的堆疊。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣路非常復(fù)雜，并且需要在每個(gè)階段有更大的氮?dú)饬髁縼?lái)進(jìn)行稀釋和隔離。同時(shí)，為了達(dá)到好的真空度，對(duì)各級(jí)的通關(guān)要求也是非常嚴(yán)格的。當(dāng)然，由于內(nèi)部壓縮比的增加，這種設(shè)計(jì)使其功耗相對(duì)較低。

三葉草裂片

苜蓿葉形分割設(shè)計(jì)與雙分割設(shè)計(jì)相同，只是氣體在一次旋轉(zhuǎn)中被分成三部分而不是兩部分。兩種設(shè)計(jì)都有相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低功耗，一些廠商在選擇兩個(gè)直流電機(jī)的傳動(dòng)部分，但這也會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)矩減小，重新啟動(dòng) - 下降的能力。與雙盤設(shè)計(jì)一樣，三葉草設(shè)計(jì)的每個(gè)階段都需要較大的氮?dú)饬髁縼?lái)進(jìn)行稀釋和隔離。

組合（根+爪）

組合（根部+爪部）與根部一起設(shè)計(jì)，以改善吸氣效率在更高的壓力下吸氣效率。其基本原理和氣路與上一節(jié)所述完全相同。一些廠家將最后的水平設(shè)計(jì)成明星，這樣的氣體可以分為五個(gè)革命，就像三個(gè)圓形的分割設(shè)計(jì)可以分成三個(gè)。同樣，在許多過(guò)程中，組合設(shè)計(jì)的每個(gè)階段需要更大量的氮?dú)饬髯鳛橄♂尯透綦x。

外部壓縮式螺絲

在外部壓縮式螺絲設(shè)計(jì)中，使用一對(duì)等距的螺絲。這使內(nèi)部壓縮最小化，同時(shí)保持氣路最短和最簡(jiǎn)單。這樣，氣體可以在最短的時(shí)間內(nèi)停留在泵體內(nèi)。盡管這種設(shè)計(jì)由于其內(nèi)部壓縮比降低而導(dǎo)致功耗相對(duì)較高，但在許多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級(jí)設(shè)計(jì)使得氮?dú)庑枨蠓浅Ｐ∏液?jiǎn)單，這使得它在不同工藝中可以互換。在許多清潔過(guò)程中，您甚至可以消除氮?dú)狻?/p>

內(nèi)部壓縮式螺絲

除了使用一對(duì)非等距的螺絲外，內(nèi)壓螺絲設(shè)計(jì)和外壓螺絲設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺絲減小的體積使其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。 由于內(nèi)部壓縮，該設(shè)計(jì)將功耗降至與多級(jí)泵相當(dāng)?shù)乃健?然而，在許多工藝中，這種內(nèi)部壓縮，就像多級(jí)泵一樣，很容易造成氣體在泵體中發(fā)生物理和化學(xué)變化而凝固或液化。