干式無油螺桿真空泵致動的泵腔無油無水，不會污染真空室或萃取介質(zhì)。此外，支持設(shè)施很少，可以直接排放到大氣中。短期購買投資成本要高于傳統(tǒng)真空泵，但無油干式真空泵的后續(xù)使用和維護(hù)成本要低得多，而且時間越長，后期的成本差異就越明顯。----真空泵廠家

干式無油螺桿真空泵是一種干燥的非接觸式恒螺距螺桿真空泵。兩個螺釘準(zhǔn)確地動態(tài)平衡并由軸承支撐。該設(shè)備在泵殼內(nèi)。螺釘之間有的間隙。泵的運(yùn)行穩(wěn)定，沒有碰撞，并且工作室中沒有介質(zhì)。因此，干式無油螺桿真空泵是一種節(jié)能的真空泵，可以排出含有大量可冷凝氣體和粉塵的氣體。它比油封機(jī)械真空泵，液封真空泵，往復(fù)式真空泵和其他類型的真空泵更適合。

一， 干式螺桿真空泵選型

1、干式螺桿真空泵在其工作壓力下，應(yīng)能排走真空泵設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的氣體量。

2、每種泵都有的工作壓力范圍，因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選擇在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。

3、油式真空泵的限壓力應(yīng)該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的限壓力低于工藝要求約一個數(shù)量級。

干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，今天，我們已進(jìn)入干式真空泵時代，同過去旋片和活塞油式真空泵時代相比，一個受過良好培訓(xùn)的消費(fèi)者在真空泵的選擇上起著舉足輕重的作用。要知道，有如此多類型的干式泵可供選擇，而選一個能和您的半導(dǎo)體工藝相匹配的類型是關(guān)鍵所在。